여섯 가지 무위법을 가리킨다. 무위법은 어떤 조건에 의해 생기지 않는 다르마(法)를 의미한다. 상대어는 유위법(有爲法)으로, 원인과 조건에 의해 발생하는 다르마를 말한다. 설일체유부의 75다르마 체계에서 무위에 속하는 것은 세 가지로, 허공(虛空, ākāśa)·택멸(擇滅, pratisaṃkhyānirodha)·비택멸(非擇滅, apratisaṃkhyānirodha)이다. 유식학파에서는 부동멸(不動滅, āniñjya), 상수멸(想受滅, saṃjñāvedayitanirodha), 진여(眞如, tathatā)를 추가하여 여섯 가지 무위법을 정립한다. 유식학파에서는 육무위를 각각 다음과 같이 정의한다. 허공은 물질이 방해 없이 이동할 수 있는 빈 공간을 말한다. 유식학파에서 허공무위법은 번뇌라는 장애[煩惱障]와 알아야 할 대상을 아는 것을 막는 장애[所知障]가 사라진 상태를 의미한다. 택멸은 진리에 대한 고찰[擇]에 의해 유위법들이 소멸된 상태를 말한다. 『아비달마구사론(阿毘達磨俱舍論)』에 따르면 고찰은 사성제(四聖諦)를 고찰하여 얻은 특수한 지혜이다. 유식학파에서는 고찰에 의해 번뇌장이 사라진 상태를 가리키는 용어로 정립된다. 비택멸은 고찰 없이 진여의 청정한 본성에 대한 지혜를 통해 장애가 사라진 상태를 가리킨다. 이때는 번뇌장과 소지장 모두 소멸된다. 부동멸은 제4정려에 들어간 상태를 가리키기도 하고, 색계(色界) 제3정려의 최고 단계인 변정천(遍淨天)에서의 욕구와 완전히 분리된 상태를 가리키기도 한다. 상수멸은 무색계의 제3정려 단계인 무소유처(無所有處)에서의 욕구와 완전히 분리되고, 무색계 최고 단계인 비상비비상처(非想非非想處)도 뛰어넘은 사람이 주의집중을 통하여 불안정한 행위를 모두 그치고, 안정적인 행위도 일부 그친 상태를 가리킨다. 진여는 두 가지 무아(無我)·공성(空性)·무상·진실·승의(勝義)·법계를 말하며, 선법(善法) 그대로의 모습을 가리킨다.