사후(死後)에 장례를 하고 나서 본래 머물던 곳으로 돌아오는 혼령을 맞이하는 의식이다. 예를 들어 승려가 죽으면 화장이나 매장을 한 다음 혼령이 절에 돌아왔을 때 반혼착어를 하며, 재가자도 죽으면 혼령을 절로 모시고 와 봉안하면서 반혼재 또는 반혼제(返魂祭)를 올린다. 불교 장례의식이 담긴 16세기 문헌에는 반혼착어라는 법어는 나타나지 않고, 17세기 초반에 반혼착어라는 법어가 등장한다. 두 게송이 전해지고 있다. 하나는 『석문가례초』와 『승가예의문』에 등장하는 “진성은 미묘하여 헤아리기 어렵고(眞明性體妙難測)/ 가을 못에 비친 달 속의 계수나무 더욱 차네(月墮秋潭桂影寒)/ 요령 울려 깨침의 길 닦았으니(金鐸數聲開覺路)/ 허깨비 몸 벗으시고 영단에 앉으소서(幻軀永脫坐靈壇).”라는 것이고, 다음은 『오종범음집』의 “참마음의 성체는 아득하여 헤아리기 어려워(眞心性體杳難測)/ 달이 맑은 못에 떨어짐은 곧 자연현상이라네(月墮淸潭是自然)/ 돌이켜 비추고 요령 흔들며 향 사르는 곳에(返照振鈴香爇處)/ 바른 눈 활짝 뜨고 금선에게 향하소서(開正眼向金仙).”이다. 이제 헛된 육신에 집착하지 말고 깨달음의 세계에 이르라는 법어라고 할 수 있다. 17세기 문헌에는 화장터에 이르러 화장하기 전에 반혼착어를 일러주는데, 현대의 문헌에는 성복제 때, 염습 전에, 발인 때, 화장 전에, 매장 전에 하고 있으며, 또 혼령을 모시고 절로 돌아와서도 반혼착어를 하는 모습을 볼 수 있다. ‘반혼재’라는 표기도 현대에 사용된 의례 용어로 반혼제와 혼용되고 있다. 다비를 마치고 위패를 사찰에다 봉안하는 의식으로, 장례를 마친 유족이 위패와 영정을 사찰 법당으로 모시고 와서 처음 지내는 의례를 반혼재라고 하며, 이때부터 49재가 시작된다.