설일체유부가 고안한 일체법의 분류 체계이다. 초기경전의 법 분류 체계는 오온과 십이처, 십팔계로서 이 가운데 가장 기본적인 분류 체계는 오온이다. 하지만 초기경전에는 오온에 포함되지 않는 다른 여러 가지 법들도 설해져 있다. 설일체유부는 이러한 법들을 포괄하기 위해 오온 중 행온(行蘊) 개념을 확장하여, 마음과 결합하는 법인 심상응행법(心相應行法)과 결합하지 않는 법인 심불상응행법(心不相應行法)으로 구분하였다. 그리고 심상응행법에 수온(受蘊)과 상온(想蘊)을 합해 심소법(心所法)으로 삼았다. 여기에 무위법(無爲法)을 더해 오위의 체계를 구축하였다. 곧 색온(色蘊)은 색법(色法), 식온(識蘊)은 심법(心法)으로 하고, 심소법, 심불상응행법, 무위법이라는 다섯 가지 분류 체계를 새롭게 완성한 것이다. 이 가운데 (1) 색법은 신체라는 의미에서 확장하여 물질현상을 포괄하는 개념이다. 여기에는 안・이・비・설・신 등 오근과 색・성・향・미・촉 등 오경, 드러나지 않는 물질현상이라는 의미의 무표색(無表色) 등 11법이 포함된다. (2) 심법은 육식 전체를 하나의 법으로 헤아린다. (3) 심소법은 다시 ① 10대지법: 수(受), 상(想), 사(思), 촉(觸), 작의(作意), 욕(欲), 승해(勝解), 염(念), 정(定), 혜(慧), ② 10대선지법: 신(信), 불방일(不放逸), 경안(輕安), 사(捨), 참(慚), 괴(愧), 무탐(無貪), 무진(無瞋), 불해(不害), 근(勤), ③ 6대번뇌지법: 치(癡), 방일(放逸), 해태(懈怠), 불신(不信), 혼침(昏沈), 도거(掉擧), ④ 2대불선지법: 무참(無慚), 무괴(無愧), ⑤ 10소번뇌지법: 분(忿), 부(覆), 간(慳), 질(嫉), 뇌(惱), 해(害), 한(恨), 첨(諂), 광(誑), 교(憍), ⑥ 8부정지법: 심(尋), 사(伺), 수면(睡眠), 악작(惡作), 탐(貪), 진(瞋), 만(慢), 의(疑) 등으로 모두 46가지의 심리 현상을 포괄한다. (4) 심불상응행법은 마음과 결합하지 않을 뿐 아니라 물질에도 속하지 않는 것으로서, 득(得)과 비득(非得), 중동분(衆同分), 무상과(無想果)와 이무심정(二無心定: 無想定･滅盡定), 명근(命根), 유위사상(有爲四相: 生･住･異･滅), 언어 요소인 명신(名身)・구신(句身)・문신(文身) 등 14가지 법을 포괄한다. 이상은 생멸하는 유위법(有爲法)이다. 여기에 더해 생멸하지 않는 (5) 무위법이 있다. 여기에는 허공, 지혜에 의한 번뇌의 소멸을 뜻하는 택멸(擇滅), 조건이 결여하여 발생하지 못하는 것을 뜻하는 비택멸(非擇滅) 등 세 가지 법이 포함된다. 오위에 포함되는 개개의 법의 종류가 75가지이므로 이를 총칭해서 오위칠십오법이라고 한다. 오위칠십오법은 단일하고 영원한 인격적 개체를 부정하고 무아(無我)를 확립하기 위해 인격과 세계를 구성 요소로 환원한 것이다. 하지만 이들 구성 요소 자체는 실체적으로 존재하는 것으로 간주하여 다른 학파로부터 비판을 받았다.