설일체유부에서 체계화한 법의 분류 체계인 오위칠십오법을 유식 사상의 견해에서 재해석하여 새롭게 수립한 법의 분류 체계이다. 따라서 기본적으로는 오위칠십오법의 체계를 따르지만 구체적으로는 오위의 순서, 심소법의 분류 기준 등에서 차이를 보인다. 곧 설일체유부의 오위칠십오법설에서 오위는 색법, 심법, 심소법, 심불상응행법, 무위법의 순서인 데 비해, 유가행파의 오위백법설은 심왕, 심소유법, 색법, 심불상응행법, 무위법의 순서로 되어 있다. 또한 설일체유부의 심법이 한 가지만 상정하는 데 비해 유가행파는 여덟 가지로 나누고, 심소법도 46종에서 51종으로 늘리는 등 심리적 요소를 더욱 자세히 분석하는 경향을 보여 준다. 가장 먼저 오위 중 (1) 심왕은 안・이・비・설・신・의식 등 육식에 말나식과 아뢰야식을 더한 8종이다. (2) 심소유법은 설일체유부가 대지법, 대선지법, 대번뇌지법, 대불선지법, 소번뇌지법, 부정지법으로 분류하는 데 비해, 유가행파는 변행(遍行), 별경(別境), 선(善), 번뇌(煩惱), 수번뇌(隨煩惱), 부정(不定)으로 분류한다. 또한 개별 심소의 배치에도 차이가 있다. 이는 분류의 기준을 달리한 데 따른 것이다. 심소는 ① 5변행: 작의(作意), 촉(觸), 수(受), 상(想), 사(思), ② 5별경: 욕(欲), 승해(勝解), 염(念), 정(定), 혜(慧), ③ 11선: 신(信), 정진(精進), 참(慚), 괴(愧), 무탐(無貪), 무진(無瞋), 무치(無癡), 경안(輕安), 불방일(不放逸), 사(捨), 불해(不害), ④ 6번뇌: 탐(貪), 진(瞋), 만(慢), 무명(無明), 의(疑), 부정견(不正見), ⑤ 20수번뇌: 분(忿), 한(恨), 뇌(惱), 부(覆), 광(誑), 첨(諂), 교(憍), 해(害), 질(嫉), 간(慳), 무참(無慚), 무괴(無愧), 불신(不信), 해태(懈怠), 방일(放逸), 혼침(惛沈), 도거(掉舉), 실념(失念), 부정지(不正知), 산란(散亂), ⑥ 4부정: 수면(睡眠), 악작(惡作), 심(尋), 사(伺)가 있다. (3) 색법은 설일체유부와 마찬가지로 안・이・비・설・신 등 오근과 색・성・향・미・촉 등 오경, 드러나지 않는 물질현상이라는 의미의 무표색(無表色) 등 11법이다. (4) 심불상응행법은 득(得), 명근(命根), 중동분(衆同分), 이생성(異生性), 무상정(無想定), 멸진정(滅盡定), 무상보(無想報), 명신(名身), 구신(句身), 문신(文身), 생(生), 노(老), 주(住), 무상(無常), 유전(流轉), 정이(定異), 상응(相應), 세속(勢速), 차제(次第), 방(方), 시(時), 수(數), 화합성(和合性), 불화합성(不和合性) 등 24종류이다. 이는 설일체유부보다 열 가지가 더 많은 것이다. 이상은 유위법의 범주이다. (5) 무위법으로는 허공(虛空), 택멸(擇滅), 비택멸(非擇滅), 부동멸(不動滅), 상수멸(想受滅), 진여(眞如) 등 여섯 가지 법이 포함된다. 설일체유부는 무아를 확립하기 위해 인격과 세계를 구성 요소로 환원하고 그것을 오위칠십오법으로 체계화했지만, 그 법을 실체적인 것으로 간주하는 오류를 범하고 말았다. 유가행파의 오위백법설은 그러한 실체적인 것으로 간주하는 것을 넘어 그 법도 마음의 나타남일 뿐이라는 사상에 기반하여 성립한 체계라고 평가할 수 있다.