『성유식론』에서 완성된 다섯 단계로 이루어진 유가행파의 수행단계론을 말한다. 유식오위(唯識五位)라고도 한다. 다섯 단계는 자량위(資糧位), 가행위(加行位), 통달위(通達位), 수습위(修習位), 구경위(究境位)이다. 오위는 기본적으로 설일체유부의 5단계 수행단계론과 『십지경』에서 유래하는 대승불교의 십지설(十地說)을 결합한 것이다. 설일체유부의 5단계는 순해탈분(順解脫分), 순결택분(順決澤分), 견도(見道), 수도(修道), 무학도(無學道)이다. 유가행파 문헌인 『해심밀경』에서 최초로 명시적으로 견도와 초지를 동일시하고 이지(二地) 이후를 수도에 배치하여, 설일체유부의 수행단계론과 십지설을 결합하였다. 이 가운데 자량위는 유식의 가르침을 깊이 믿고 수행을 준비하는 단계이다. ‘자량’이란 사전적 정의로는 ‘어떤 행위를 하기 위해 혹은 어떤 목적을 이루기 위해 필요한 것을 모으는 것’, ‘준비물’, ‘재료’ 등을 의미한다. 대승불교에서는 이러한 준비물을 복덕과 지혜라는 두 요소로 압축하여 그것을 자량이라고 하였고, 유가행파는 이를 수행단계론 용어로 채택하였다. 가행위는 인식 대상과 인식 주체를 점진적으로 제거하여 진실한 견해를 끌어내는 단계를 말한다. ‘가행’이란 결합이라는 기본적인 의미에서 확장되어 ‘어떤 일에 착수하는 것’, ‘적용’, ‘수단’, ‘연습’, 이론에 대비되는 ‘실천’ 등의 의미를 가진다. 가행위를 통달위 직전의 단계로 상정하고 전문술어화한 것도 설일체유부와는 구별되는 유가행파의 독자적 용어법이다. 통달위는 여실하게 진리를 통달하는 단계를 일컫는다. ‘통달’이라는 용어는 이전에는 수행 계위의 명칭으로 사용되지 않았던, 『성유식론』의 독특한 전문술어이다. 통달은 진여와 공성 혹은 법계 등 궁극적인 진리에 대한 통찰의 의미를 가진다. 통달위는 이러한 통찰이 이루어지는 단계로서 견도 및 초지와 동일시된다. 수습위는 자신이 본 진리에 따라 반복해서 수습하여 나머지 장애를 끊는 단계를 가리킨다. ‘수습’이란 어원적으로 ‘(마음속에서) 뭔가를 만들어 내는 것’, ‘개념’, ‘상상’을 의미하는 데서 발전하여, ‘반복’ 특히 명상이나 관찰의 반복을 가리키게 되었다. 수습위란 통달위에서 통찰한 진리를 반복해서 관찰하는 단계를 말한다. 이를 통해 모든 번뇌를 단계적으로 제거하는 과정을 거친다. 구경위는 무상정등보리에 머무는 것으로서, 모든 장애로부터 벗어난 완전한 지혜로 미래세가 다하도록 중생을 교화하고 그들에게 유식을 인식하도록 하는 단계이다. 구경(究竟, niṣṭhā)은 ‘상태’, ‘조건’ 등의 기본적인 의미에서 확장되어 ‘완성’, ‘정점’, ‘결론’ 등의 의미를 가지게 된 단어로서, 수행의 최종 단계를 가리키게 되었다. 이 또한 유가행파 수행 계위의 독특한 용어이다. 유가행파 오위설의 특징은 ‘점오(漸悟)’적 성격에 있다. 오위설은 3아승기겁이라는 오랜 시간에 걸친 명상과 비판적 사고의 반복, 이타행의 실천이라는 단계를 거쳐 성불한다는 점진적 방식의 수행단계론이다. 이에 더해 오위설은 수행의 첫 단계부터 최종 단계에 이르기까지의 긴 여정에 정밀한 지도와 나침반을 제시해 준다는 데 의의가 있다.