반룡사는 삼국시대 661년(문무왕 1)에 원효가 창건하였다고 전한다. 기록에 따라서는 동화사를 창건한 심지왕사(心地王師) 창건설, 고려 중기 원응국사(圓應國師) 학일(學一, 1052~1144)의 창건설도 있다. 절의 역사를 기록한 문헌이 18세기에 처음 등장하므로 창건에 관한 명확한 이야기는 알 수 없다. 이 가운데 경산시가 원효가 출생한 곳이므로 창건 가능성을 생각해 볼 수 있다. 원효의 아들 설총(薛聰, 655~?)이 유년 시절 수학했던 곳이라는 말도 전한다. 1654년(효종 5)에는 목조관음보살좌상을 조성하였다. 이 불상은 1930년대에 경북 청도 대운암으로 옮겼다. 1667년(현종 8)에는 당대의 유명한 장인 사인(思印) 스님이 범종을 조성하였다. 이 범종은 현재 보물로 지정되어 포항 보경사 서운암에 있다. 1716년(숙종 42) 신유한(申維翰, 1681~1752)은 「내원암누각창건기문(內院庵樓閣創建記文)」을 지었다. 내원암은 반룡사 소속의 암자로 동쪽 1리쯤에 있었다. 1764년(영조 40) 정충언(鄭忠彦)은 「반룡사사적비문」을 썼다. 두 기록은 『경상도읍지』에 수록되어 있다. 두 기록에 의하면 1623년(인조 1) 이후 1700년(숙종 26)까지 절에는 25개 이상의 다양한 전각과 누각이 있었다. 1741년(영조 17)에는 용파당(龍破堂)의 부도를 조성하였다. 18세기 말까지 법등이 지속되다가 1900년대 초에 화재로 전소되었다. 소속 암자는 내원암, 취운암(翠雲庵), 대적암(大寂庵), 은선암(隱仙庵), 안적암(安寂庵) 등 5개가 있었다. 1920년에 운학(雲學)이 중창하였고, 1950년에는 대웅전 등을 중건하였다. 1989년에는 산신각, 1992년에는 용왕각을 건립하였다. 가람은 대웅전, 설법전, 산령각, 용왕각, 관음보살상, 3층석탑, 부도 등으로 이루어져 있다. 경내에는 석재 기단의 면석이 남아 있다. 불전의 기단면석으로 사용되었을 것으로 추정되는 꽃문양이 새겨진 17세기의 면석이다. 유사한 사례가 통도사 대웅전, 범어사 대웅전 등의 명찰에 있어 사격을 짐작할 수 있다.