이 용어는 초기불교에서도 발견되지만 초기불교보다는 부파불교 이후 중요한 철학적 용어가 되었다. 부파불교에서는 ‘어떤 사물의 고유하고 변하지 않는 속성’으로 간주되었고, 그에 따라 부파불교의 한 학파인 설일체유부는 여러 법의 자성은 시간과 원인의 제약을 벗어나 있다고 생각하였다. 그에 따라 『대비바사론(大毘婆沙論)』은 “자성을 포섭한다는 것은 시간과 원인을 기다리지 않으면서 포섭한다는 뜻이다. 이것이 구경의 포섭이다. 시간을 기다리지 않는다는 것은 여러 법이 자성을 포섭하지 않는 때가 없다는 것이니, 여러 법은 항상 자체를 버리지 않기 때문이고, 원인을 기다리지 않는다는 것은 여러 법이 원인이 없이도 자성을 포섭한다는 것이니, 인(因)과 연(緣)을 기다리지 않으면서도 자체를 가지기 때문이다.”라고 하였다. 중관학파의 개조인 용수(龍樹, Nāgārjuna, 150~250년경)는 『중송(中頌)』 제15장에서 자성을 ① 다른 것에 의해서 만들어지지 않은 것, ② 다른 것에 의존하지 않는 것, ③ 그 사물을 떠나지 않는 고유한 속성이라고 정의한 뒤, 『회쟁론(廻諍論)』과 『중송』 제24장에서 일체법은 연(緣)에 의존해서 발생하며, 연에 의존해서 발생하는 사물은 자성을 지닐 수 없으므로, 일체법은 무자성이고 공이라고 주장하였다. 이처럼 용수는 연기라는 사실을 토대로 해서 일체법이 무자성이고 공임을 밝힐수 있다고 생각하였기 때문에, 그는 일생을 통해서 일체법이 연기임을 논증하고자 하였다. 한편 유식학파는 변계소집자성(遍計所執自性), 의타기자성(依他起自性), 원성실자성(圓成實自性)의 삼성(三性)이 곧바로 각각 상무자성(相無自性), 생무자성(生無自性), 승의무자성(勝義無自性)이라고 주장하면서 부파불교의 유자성론과 중관학파의 무자성론을 모두 비판하였다. 여래장 사상과 불성 사상에서는 모든 중생이 본래부터 가지고 있는 불성(佛性), 혹은 부처님의 진신(眞身)을 의미하는 말로 사용되었다. 이 경우 심성(心性), 진여(眞如), 법성(法性)이라고도 한다. 이로써 불교의 여러 학파들은 자성에 대하여 서로 다른 의견을 가지고 있었던 것을 알 수 있다.