파불의식(破佛儀式) 절차는 『작법귀감(作法龜鑑)』 ｢파불급경가사소송법(破佛及經袈裟燒送法)｣과 『요집(要集)』 ｢파불파경파가사소송법(破佛破經破袈裟燒送法)｣, 『신중작법절차神衆作法節次』에 나타난다. 세 의식집 내용은 거의 동일하며, 파불의식 절차에 대해서는 협주를 통해 간략히 언급하고 있다. 『작법귀감』의 내용을 보면 “재계(齋戒)의식은 한결같이 새로 조성할 때와 같이 하고 탁상(卓上)에 봉안하여 공양을 올리는 의식은 평상시에 하던 대로 한다. 이러한 연유(緣由)를 삼보(三寶)에 우러러 아뢰고 축원(祝願)을 끝낸 다음 높은 곳의 반석 위에서 태운다”라고 하였다. 여기서 불상을 조성할 때와 동일한 재계와 공양의식이 진행된다는 점에서 파불의식은 불상봉안의식 절차와 동일하게 진행되며, 삼보께 파불의 연유를 아뢰고 그 이후에 높은 반석 위에서 태운다는 점에서 파불의식만의 특징이 나타남을 알 수 있다. 파불을 할 상(像)을 소대로 옮겨 태울 때에는 다음의 게송과 주문을 외어야 한다.

이상의 게송과 주문을 1편 외우고 나면 상(像)이 다 탈 때까지는 주문을 계속 외워야 하며, 준제주(準提呪)나 대명주(大明呪) 그리고 재앙을 소멸하는 주문인 소재주(消災呪)를 외워도 된다고 설한다. 마지막에 『대지도론(大智度論)』을 인용하여 이러한 파불의식은 새로 불상을 조성하는 공덕과 다름이 없이 한량없는 공덕과 지혜를 얻음을 증명하고 있다.