경기도 안양시 삼막사의 대웅전 뒤쪽 암벽에는 마애삼존불이 부조 형식으로 조성되어 있으며, 감실 안에 모셔져 있다. 마애불 앞에는 칠보전이 세워져 있어 법당과 보호각의 역할을 한다. 본존인 치성광여래는 높이가 1.6m, 폭이 70cm이며, 좌우 협시보살인 일광 · 월광보살은 각각 높이 1.2m이다. 삼존불 아래에는 ‘1763년(영조 39) 계미 8월에 화주 오심(悟心), 서세준(徐世俊)이 시주했다(乾隆二十八年癸未八月日化主悟心, 首施主徐世俊)’는 시주발원문이 음각으로 새겨져 있다. 또한 칠보전 오른쪽 바위벽에는 1764년(영조 40)에 칠성전을 새로 지었다는 명문이 있고, 왼쪽 바위벽에는 1881년(고종 18)에 칠성각을 고쳐 지었다는 명문이 새겨져 있다. 마애삼존불은 바위 면에 본존인 치성광여래와 양옆의 일광보살, 월광보살을 깊게 파서 고부조 형식으로 조성하였다. 삼존의 신체 비례는 허리를 길게 표현하여 얼굴과 몸의 비례가 균형을 이루고 있다. 치성광여래는 높은 육계에 소발형 머리, 큰 반원형의 중계주와 정상계주가 표현되었다. 둥글고 넓적한 얼굴형, 반쯤 감은 눈매, 꽉 다문 입, 작은 코, 길게 늘어진 귀 등은 전형적인 조선 후기 불상 형식을 보여준다. 특히 목이 짧아 삼도는 없으며, 각진 어깨가 얼굴과 거의 바로 연결된 듯한 모습이다. 앞으로 모은 두 손은 간략하게 묘사되어 둥근 원형 보주를 잡은 수인을 하고 있다. 착의법은 통견의에 변형된 편단우견을 걸친 형태이며, 가사 안쪽에는 띠매듭이 세밀하게 표현되었다. 오른발을 위로 올리고 결가부좌한 자세에서 대의 자락이 넓고 유연하게 늘어진 옷 주름으로 표현되어 있다. 협시보살인 일광 · 월광보살은 머리에 삼산형(三山形)의 보관을 쓰고 양손을 가슴 앞에서 합장한 자세를 하고 있다. 두 손이 가슴을 가려 띠매듭이 보이지 않지만, 대의 및 군의 표현은 본존상과 유사하다. 이들은 연화좌 위에 결가부좌하고 있다. 치성광여래의 도상은 약호를 든 약사불과 매우 유사하며, 이는 소재와 무병장수의 신력을 지닌 약사불의 도상이 혼용된 결과로 보인다. 조선 후기 북두칠성 신앙의 유행과 함께 치성광여래의 현세 구복적인 신앙 요소가 강조되면서, 서울 · 경기지역을 중심으로 이러한 도상의 혼용이 나타났다. 삼막사 마애삼존불은 조선시대 마애불로 조성된 유일한 칠성여래불상이다. 1763년이라는 제작 시기와 발원자를 알려주는 명문이 있어 역사적 자료로서도 중요한 의미를 지닌다. 특히 마애불로 치성광여래삼존불을 봉안한 독특한 형식은 조선 후기 치성광여래 신앙이 발전한 모습을 보여주는 가치가 있다.